MFC3100A 气体质量流量控制器MFC3100A
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气体质量流量控制器MFC3100A
气体质量流量控制器MFC3100A,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量控制MFC3100A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化,也不会影响其正常的工作。
气体质量流量控制器MFC3100A产品亮点: |
-类 型:MFC气体质量流量控制器 -控制范围:30slpm ~ 125slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) -准度等级: ±1% F.S -耐 压:≤70bar -标准接口:0-5VDC,4-20mA可选 -响应时间:≤2sec -使用范围:2~* for max range -供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体) |
-无需温度、压力补偿
气体质量流量控制器MFC3100A
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应用领域:
-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料电池
-生物技术 -气相色谱分析 -等离子刻蚀
-激光焊机 -混气配气系统 -微反应装置
-真空镀膜 -过程自动化 -石化工业
:刘
大连风华传感科技有限公司
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