B1500A B1500A 半导体参数分析仪
产品简介
详细信息
测量功能
● 在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量
● 在1 kHz 至 5 MHz 频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量
● 的脉冲 IV 测量和超快 IV 测量，采样间隔为 5 ns（200 MSa/s）
● 高达 40 V 的高压脉势，适用于非易失存储器测试
EasyEXPERT group+ 软件
● EasyEXPERT group+ 表征环境可在配有 15 英寸触摸屏的分析仪主机（嵌入式Windows 7）或用户PC上运行
● 多种测量模式，实现快速设置和测量执行（应用测试、典型测试、追踪仪测试、快速测试和示波器显示）
● 图形显示和自动分析功能，能够生成数据并导入Excel和图像以便分析和报告
● EasyEXPERT group+ 软件可根据需要安装在多台PC上，且不会收取额外的费用，因而您所在部门的用户都能充分利用离线个人分析仪环境进行测试
主机功能特性
● 可配置和可升级的测量模块，多达 10 插槽
● 15 英寸触摸屏支持直观的 EasyEXPERT group+ 图形用户界面（GUI）操作方式
● 嵌入式Windows 7标准版操作系统（WES7）
● GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 视频输出端口
● Keysight B1500A 半导体器件分析仪是德科技精密电流－电压分析仪系列，是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪，旨在满足从基础到应用的表征需求。B1500A 提供丰富的测量功能，支持器件、材料、半导体、有源/无源器件，甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试，且具有的测量可靠性和测量效率。此外，B1500A 的模块化体系结构和 10 个空闲插槽允许您添加或升级测量模块，以适应不断变化的测量需求。
● 基于 Keysight EasyEXPERT group+ 图形用户界面的表征软件可在 B1500A（配有15英寸触摸屏）的嵌入式 Windows 7平台或PC上运行，能帮助加快表征任务速度。软件支持交互式手动操作或结合半自动晶圆探头的自动操作，能够在从测量设置和执行到结果分析和数据管理的整个表征过程中实现高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备数百种易于使用的测量（应用测试）功能，允许您快速而轻松执行复杂器件表征，并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到的内置数据库（工作区）中，以确保不会遗失重要的信息和在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能，Keysight B1500A 提供了一款综合的器件表征解决方案。
即用型应用程序库
● 器件类型：应用测试
● CMOS：晶体管Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容、QSCV 等
● 双极晶体管：Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿、三极管、电容等
● 分立器件：Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等
● 存储器：Vth、电容、耐久测试等
● 功率器件：脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿等
● 纳米器件：电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等
● 可靠性测试：NBTI / PBTI、电荷泵、电迁移、热载子注入、恒增电流（J-Ramp）、TDDB 等
| 测试范围 | 支持模块 | 主要技术指标 | 主要特性 |
| 直流和脉冲 IV 测量 | B1510A 大功率源表模块（HPSMU） | –高达 200 V/1 A –最小分辨率 10 fA/2 μV | –最小 100 μs 采样（时域）测量 –最小脉宽 500 μs，100 μs 分辨率 –准静态电容电压（QSCV）测量，具有泄漏电流补偿 –4 象限工作 –Kelvin（4 线）连接 –点测量、扫描测量和其他功能 |
| B1511B 中等功率源表模块（MPSMU） | –高达 100 V/0.1 A –最小分辨率 10 fA/0.5 μV –ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换 | ||
| B1517A 高分辨率源表模块（HRSMU） | –高达 100 V/0.1 A –最小分辨率 1 fA/0.5 μV –ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换 | ||
| B1514A 50 μs 脉冲中等电流源表模块（MCSMU） | –高达 30 V/1 A（0.1 A 直流） | –最小脉宽 50 μs，2 μs 分辨率 –示波器视图支持精确的脉冲测量 | |
| 电容测量 | B1520A 多频率电容测量单元（MFCMU） | –频率范围为 1 kHz 至 5 MHz – SMU 和 SCUU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置 | –交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） –使用自动切换通过 SCUU 轻松、快速、精确地进行 IV 和 CV 测量 |
| 超快速脉冲和瞬态 IV 测量 | B1530A 波形发生器/快速测量单元（WGFMU） | –用于波形生成的 10 ns 可编程分辨率 –200 MSa/s 同时高速测量 –10 V 峰峰值输出 | –无负载线效应；使用 SMU 技术进行精确的脉冲 IV 测量 –支持 NBTI/PBTI、RTN 等应用 |
| 脉冲生成 | B1525A 高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU） | –高达 ±40 V 高电压输出 | –能够在每个通道上生成二电平和三电平脉冲和任意波形 –适用于非易失性存储器测试 |
| 超快速脉冲高 k/SOI 测试 | B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 | –最小选通脉宽 10 ns，上升和下降时间为 2 ns –1 μs 电流测量分辨率 | –精确的 Id-Vd 和 Id-Vg 测量 –在直流测量和脉冲测量之间轻松切换 |