高速扫描电子显微镜HEM6000
产品简介
详细信息
 | 电子过滤系统 SE/BSE信号自由切换，MIX成像信号比例可调 |
 | 高速扫描驱动器 驻点时间10 ns/pixel，采集速度2*100 M pixel/s |
 | 浸没式电磁复合物镜 物镜磁场浸没样品，实现了低像差高分辨率 |
 | 全静电高速偏转系统 可实现高分辨大场模式，4 nm像素点视场达32*32 um² |
 | 样品台减速技术 降低入射电子落点电压，同时提高回收电子的收集效率 |
| 电子过滤系统 SE/BSE信号自由切换，MIX成像信号比例可调 |
| 高速扫描驱动器 驻点时间10 ns/pixel，采集速度2*100 M pixel/s |
| 浸没式电磁复合物镜 物镜磁场浸没样品，实现了低像差高分辨率 |
| 全静电高速偏转系统 可实现高分辨大场模式，4 nm像素点视场达32*32 um² |
| 样品台减速技术 降低入射电子落点电压，同时提高回收电子的收集效率 |