超高分辨场发射扫描电镜 SEM5000X
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- 国仪量子（合肥）技术有限公司
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场发射扫描电镜SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6nm@15kV和1.0nm@1kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓支持8寸晶圆（直径208mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验......
场发射扫描电镜SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6nm@15kV和1.0nm@1kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓支持8寸晶圆（直径208mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
