智能制造网

产品简介：

兼容自感应探针和激光检测探针的原子力显微镜（AFM），技术、融合。可分别单独实现形貌成像分析、谱曲线测量等功能，广泛应用于教育和研究领域。

仪器特点

• 兼容基于石英音叉的压电自感应探针（如Akiyama探针）和激光检测探针。

• 采用自感应探针可实现频率调制模式的形貌成像和力梯度-距离曲线测量分析。

• 采用激光检测探针可实现接触和轻敲模式的形貌成像和各种谱测量分析功能。

• 采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强。

• 可扩展纳米加工、扫描隧道显微镜、静电力显微镜等扫描探针显微镜功能。

• 可通过选配模块和扩展接口增强系统功能。

主要技术参数

• 一键式快速自动进样，行程23mm，最小步距50nm。

• 手动调节样品检测位置，调节范围±10.0mm。

• 样品尺寸的直径20mm，厚度20mm。

• 标配管型扫描器，扫描范围约为20μm×20μm×5μm。

• 样品逐行扫描成像，扫描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次扫描多幅图像，图像分辨高达1024×1024物理象素。

• 自感应探针采用频率调制模式，数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。

• 嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器（ARM + DSP），内置数模混合结构的锁相放大器，与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。

标准配置：

• 主控制器

• 主机底座及隔音罩

• 主机探头及探针架（A型和L型）

• 手动样品调节台（调节范围±10.0mm）

• 管型扫描器（扫描范围20μm）

• 计算机及专用测控软件

• 仪器附件

选配模块：

• 扫描隧道显微镜（STM）模块，包括：扫描隧道显微镜的硬件与软件、STM探针架 

• 纳米加工模块，包括：图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能

• 辅助观察光学显微镜系统：物镜倍数：0.7X～4.5X；总放大倍数：42-266X连续可调（14”有效显示面积）；工作距离：115mm

• 管型扫描器模块：扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格

• 平面闭环扫描器：扫描范围为30μm×30μm×9μm

• 导电原子力显微镜（C-AFM）

• 静电力显微镜（EFM）

• 磁力显微镜（MFM）

应用领域及实验

• 实验一：原子力显微镜基本原理与操作，典型的应用领域为纳米科技、教育培训，包括：纳米表征研究、物理演示实验，特别是2种探针成像技术的对比性实验。

• 实验二：基于自感应探针原子力显微镜的形貌成像和谱测量分析，典型实验内容包括：软磁盘、光盘、光栅等常规样品的、频率调制模式的形貌成像分析、纳米台阶的测量和力梯度谱曲线的测量与分析。

• 实验三：基于激光检测探针原子力显微镜的形貌成像和谱测量分析，典型实验内容包括：软磁盘、光盘、光栅等常规样品接触模式和轻敲模式的形貌成像分析、各种谱曲线的测量与分析。

• 实验四：扫描隧道显微镜（STM），包括形貌成像和隧道谱。（需增配STM模块）

• 实验五：纳米加工实验，如图形化纳米刻蚀实验。（需增配纳米加工模块） 

• 实验六：其它基于特殊针尖或实验方法的原子力显微镜的应用领域，包括：导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）等。（需增配或定制相应的功能模块）。