高温气敏测试台 真空探针台
产品简介
详细信息
高温气敏测试台 真空探针台，体型平板大小，功能齐全，带高低温（-196℃到400℃），探针尖10μm。
模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级。增加高低温等，以满足用户新的要求。
可处理不同尺寸的晶圆
可测试芯片、晶圆
可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物
模块化结构设计，具有较好的灵活性
高温气敏测试台 真空探针台参数
真空腔体 | |
类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体出气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 304不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台-视窗 距离 | 30mm（可选凹视窗间距15mm） |
样品台测温传感器 | A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 | 室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
样品台测温误差 | ±0.2℃ |
样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 值 |
温控仪 | |
温度显示 | 7寸人机界面 |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温控精度 | ±0.5℃ |
温度信号输入类型 | PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
温控输出 | 直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
探针 | |
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
探针数量 | 4探针（可定做6探针） |
探针材质 | 镀金钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 12mm ±6mm |
X轴控制精度 | ≤5μm |
Y轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Y轴控制精度 | ≤5μm |
Z轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Z轴控制精度 | ≤5μm |
数码显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜放大+电子放大 |
显微镜放大倍数 | 100倍 |
显微镜工作间距 | 50-150mm |
相机分辨率 | 1080P 60帧 |
相机信号输出 | HDMI输出+USB输出 |
LED可调光源 | LED光源 |
显示屏 | 5寸 屏幕一体机 |