ALICAT MCV系列流量控制器
产品简介
详细信息
| 适用于真空镀膜行业的ALICAT MCV质量流量控制器 ALICAT MCV质量流量控制器专门设计用于要求严密切断的应用，例如真空镀膜和喷镀工艺。 其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为1x10-9 atm sccm/s的正向切断。 ALICAT层流式质量流量控制器 Alicat层流式质量流量控制器不仅具有我们质量流量计的所有功能，而且还配备比例控制阀，从而为您提供控制多功能性、精度和速度。在测量质量流量的同时，您还可实现独立控制，以及小于50毫秒的响应时间(典型)和压力控制能力。 ALICAT MC系列质量流量控制器：从0.5标准毫升每分钟(SCCM)到100标准公升每分钟(SLPM)满量程的任何流量范围内的控制器。 ALICAT MCR系列质量流量控制器：从100SLPM到2000SLPM满量程的任何流量范围内的控制器。 Alicat 质量流量控制器 • 无需预热时间 • 内置30种气体可选 • 100:1的量程可调比 • 标准精度为±(0.8%Rdg+0.2%F.S) • 50毫秒响应时间 - 控制器 • 独立控制 • RS-232或RS-485及模拟输入/输出，另有PROFIBUS或DeviceNet可选 • LCD或TFT背光显示屏 • 对压力与温度不敏感 • 简便的安装和集成 • 采用标准12-24伏直流电供电(无需±15伏直流电) Alicat 质量流量控制器应用领域 Alicat 质量流量控制器广泛应用于医药、工业、过程控制、实验室、OEM、替换热式质量流量计、泄漏测试等行业。 |