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X荧光光谱仪由激发源（X射线管）和探测系统构成。X荧光光谱仪能将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

X荧光光谱仪是一种无损的，应用广泛的光谱分析仪器，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，X射线管产生入射X射线，激发被测样品，受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。

X荧光光谱仪根据其分光原理不同分成波长色散型X荧光光谱仪（波谱仪，WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（能谱仪，EDXRF），我们通常所说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器，X荧光光谱仪可对固体、粉末、液体、悬浮物、过滤物、大气飘尘、薄膜样品等进行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，检出限到2pg。

X荧光光谱仪在无损检测方面，具有其他剖析技能无法比较的长处，应用X射线光谱仪扫描办法探测土壤表层下面的是元素是X射线无损检侧技能的一个主要使用范畴，X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。

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