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ICP还可以作为原子化器，如以空心阴灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.

电感耦合等离子体发射光谱仪可以进行冶金矿业中杂质元素和主量元素的含量分析。

多电感耦合等离子体发射光谱仪是领域无机分析能手，环境中大气、水质、土壤和固废污染物中无机元素分析； 食品药品中营养元素和污染元素的定性定量分析；

电感耦合等离子体发射光谱仪具有自主封装技术的高速 CCD 数采系统，可以对纺织品、玩具、催化剂、石油等各种样品进行无机元素分析。

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