CIF电感耦合等离子清洗机
产品简介
详细信息
产品特点:
u PLC工控机控制整个去胶过程,全自动进行。
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,0~99个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。
u 采用石英真空仓,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 自动匹配器,功率无极可调。
u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
u 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。
u 上控制下舱体上下结构设计,结构更合理,占用实验室空间小。
u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
u 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
u 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
技术参数
型号 | ICP-5 | ICP-5plus |
舱体尺寸 | D260xΦ155mm | D260xΦ155mm |
舱体容积 | 5L | 5L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 360度外置环绕电极,电感耦合 | 360度外置环绕电极,电感耦合 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
处理尺寸 | L260xW155mm | L260xW155mm |
真空系统 | 石英真空仓、316不锈钢材质真空管路 | |
气体控制 | 双浮子流量计,双路控制气体流量 | |
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等(可选) | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz,所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 |