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以螺杆压缩机的工作原理为基础，在泵腔中配置着一对同步高速反向旋转的螺杆转子，电机工作时，使阳转子带动阴转子反向旋转相互啮合而不接触，循环完成吸气→运气→排气，最终使得吸气端气体分子密度下降、真空度上升的真空获得设备。并能与多种真空泵相连成泵组，常用作前级泵。

目前很多螺杆真空泵均采用机械密封，且内部不均匀压缩，多年的应用表明，其机械密封容易过热损坏，尤其是在处理一些腐蚀性介质工况下更容易损坏，导致螺杆泵存在易损件其维修保养相对频繁，而且价格昂贵。