1200℃RTP滑动式快速退火炉
产品简介
详细信息
电炉概述：
SGM-T1200-S6015LK1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100deg;C/m。为取得蕞快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10deg;C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
适用范围：
SGM-T1200-S6015LK1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
电炉特点：
多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求。
炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。
双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温
整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
内嵌式合金电热丝，升温快，寿命长
加热元件采用质内嵌式合金电热丝，加热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便，使用寿命长。
微电脑PID控制器，操作简便
操作简便，控温精度、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行。
炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
标准配件：
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| 石英炉管times;1 | 真空法兰times;1 | 防烫罩times;2 |
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| 高温手套times;1 | 坩埚钩times;1 | 热电偶times;1 |
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| 刚玉坩埚times;2 | 炉塞times;2 | 中文说明书times;1 |
注：坩埚可按用户需求选配合适的款型
可选配件：
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| 液晶触摸控制仪times;1 | 多路质子流量计times;1 | 耐高温真空泵times;1 |
| 电炉名称 | 单管RTP滑动式快速退火炉 |
| 电炉型号 | SGM-T1200-S6015Lk1-H |
| 工作温度 | 1100℃（可选择） |
| 额定温度 | 1200℃（额定温度可达1700℃） |
| 温区长度 | 440mm（可根据需求定制） |
| 恒温区 | 260mm |
| 炉管尺寸 | Phi;60*1500mm |
| 温控方式 | 30段PID微电脑可编程自动控制 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温控保护 | 具有超温及断偶报警功能 |
| 加热速率 | 0~20℃/分 |
| 加热元件 | 合金加热丝 |
| 工作电压 | AC220V单项50Hz |
| 额定功率 | 3KW |
| 净重 | 80KG |
| 炉膛材料 | 采用多晶陶瓷纤维，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强 |
| 法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
| 密封系统 | 该炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转 |
| 滑轨尺寸 | 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度：1200mm |
| 测温元件 | K型热电偶测温 |
| 炉管材质 | 可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
| 气 密 性 | 4、03times;10-3Pa |
| 电气认证 | CE认证 |
| 相关配件 | 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞 |
| 售后服务 | 12个月质保、终身保修 |