超高精度CNC三坐标测量机 LEGEX系列0.28µm
产品简介
详细信息
初项0.28µm的高精度CNC三坐标测量机LEGEX系列
●LEGEX系列为初项0.28µm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或地降低其影响。
●本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。
●用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元(自社开发)，该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。
●提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。
规格
| 型号 项目 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128* | |
| 测量范围 | X轴 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
| Y轴 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm | |
| Z轴 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
LEGEX系列主机精度
| 使用测头 | 允许长度测量误差 ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013) |
| MPP310Q | E0,MPE=0.28+L/1000* |