汉钟IPH系列半导体专用真空泵
用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点: IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。 汉钟型线设计,上海,中国台湾,制造。 较之前的版本节能25%,配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺......
用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点: IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。 汉钟型线设计,上海,中国台湾,制造。 较之前的版本节能25%,配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺寸,即插即用。