KW-4T型 中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪/片托吸盘配件
产品简介
详细信息
中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪
> 基片尺寸φ5-φ100mm圆片、100x100mm2方片
> 转速：250-9000转/分
> 特点: 任意阶段之间均可任意升降调节
> 转速稳定度：<±1%，胶的均匀性<±1%
> 匀胶阶段：6段
> 匀胶时间：每个阶段0-1800S可调
> 电机功率：40W
> 整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm
> 适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料