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日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)

供应商:
深圳赛泽尔电子有限公司
企业类型:
其他

产品简介

特点:于检测半导体特气的微量泄漏

详细信息

特点: 
于检测半导体特气的微量泄漏。
 采用声光报警。

规格 

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度 
(单位:ppm)

砷烷 磷烷 硅烷 氢气 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内


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