| 内容 | 规格 |
| A.一般规格 |
| 曝光系统 | 光源：卤化金属灯，输出功率5KW，双灯 |
| 均匀度：≥85%（min/max) |
| 强度：40mw/cm² |
| 有效曝光面积：546*622mm |
| Panel规格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") |
| 厚度：0.05mm(不含铜)至2.0mm |
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L716*W628*8t |
| PCB靠操作面中间对位 |
| 曝光作业 | 双面曝光/内层板用底片CCD自动对位系统，每片确认。对准精度±10um |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:机械动作12秒+真空延迟+曝光时间 |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表显示) |
| 操作方式 | 操作系统：PC系统+PLC+人机界面 |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：2962L*2622W*2040H mm |
| 输送面高度：1040mm+50mm(卸下轮子高度可降980) |
| 机台重量：3000Kg |
| 公用系统 | 电力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA |
| 气压源：5~6Kg/cm2 |
| 冰水系统：7~11℃，60-80L/min |
| B.系统架构 |
| Panel传送系统 | 进出料传动：滚轮带动PCB |
| 进料定位：二段式靠边定位，前缘利用滚轮慢速传动定位， |
| 侧边以伺服马达靠边定位 |
| 曝光室进出移载：配合线性滑轨，以伺服马达带动移载机构 |
| 移载机取置：气缸带动取置架上下，真空吸盘组依板宽手动调整 |
| 曝光台框 | 玻璃对玻璃方式采用高UV透光率玻璃 |
| 上台框由伺服马达带动开关，上下框间由四支定位销定位 |
| 底片吸附在台面真空槽，PCB以下台框真空吸附 |
| 静电消除 | 于进料段装置上下静电消除棒 |
| 冷却 | 灯源冷却：气冷，内循环直接气冷；灯管寿命保固800小时 |
| 灯室冷却：灯头部份为空气冷却，灯管为间接气冷 |
| 曝光室冷却：气冷，抽取曝光室内空气，经HEPA过滤后，再经冰水排系统冷却吹入曝光室内，保持曝光室内温度，并控制台面温度 |
| 台面温度22℃±2℃ |
| 洁净控制 | 机台使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客户洁净室等级需求：Class 10000 |
| UV光源监控 | 光源保护：UV点灯/熄灯/重点灯保护 |
| 功率控制：强弱灯切换 |
| 状态监视：内建电压、员流、功率及UV强度感测显示 |
| 遮光器：旋转开启，装置于灯室内，由马达带动 |
| 曝光监控：内建UV能量积算显示 |
| KW数切换 | 2KW、5KW切换 |
| 对位方式 | 4靶标CCD影像对位 |
| 底片固定 | 台面玻璃沟槽吸真空 |
| 调整机构 | 微步进马达驱动上台框微调机构 |
| 控制方式 | 自动对位及触控式荧幕PC+PLC |
| 视觉光源 | LED式CCD背光组 |
| 底片对位精度 | ±10μm内(不含涨缩) |
| 备注 | 外观为不锈钢 |
