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一、ICP-700型光谱仪技术性能指标及仪器特点

1. 射频发生器（RF）：

2、进样系统:

3、测光系统:

4、分光系统:

5、仪器特点：

A、射频发生器的高压供电回路，采用*的电子技术，采用功率闭环反馈技术，控制精度小于0.1% 。

B、全自动点火 气路智能控制，实现软件点火，更安全、更方便。

C、安全冷却水保护、氩气保护、过压、过流、灭弧保护更安全。                                 
D、输出功率自动匹配调谐，功率参数软件程序设定。                
E、分光器内充氩气，使波长在180nm的硫和189nm的Sn得到很灵敏的测量效果。

F、优良的光学系统，*的控制系统，保证峰位定位准确，信背比优良、极小的基体效应。  

G、对不同样品有多种进样系统可以 选择(普通进样系统、耐高盐等进 样系统)；

三、综合技术参数

射频发生器（RF）

(1) 电路类型：自激振荡电路，全自动电脑软件点火，所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；

(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05% 

(3) 频率稳定性：<0.1% 

(4) 输出功率：700－1600w（计算机控制可调） 

(5) 输出功率稳定性：≤0.3% 

(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2V/m

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝 

(2) 炬管：外径20mm的石英炬管 

(3) 同轴型喷雾器外径6mm 石英雾化器

(4) 双筒形雾室外径35mm 

(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格： 

  ①、 等离子体流量计（150-1500）L/h ；

  ②、 辅助气流量计（6-60）L/h ；

  ③、载气稳压阀（0-0.4MPa）

  ④、仪器内设氩气二次稳压阀（0.3MPa）

测光装置:

(1) 光电倍增管规格： CR293-01 

(2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05% 

(3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A 

(4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz

分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm 
(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，

  刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm 
(4) 波长范围：190-500nm  
(5) 分辨率: ≤0.008nm 
(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围：190-500nm
(7) 步进电机驱动最小步距：0.0006nm 
(8) 入射狭缝：20µm   出射狭缝：25µm
(9) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm 
(10) 透镜ф30，1：1成像

(11) 扫描方式：单道扫描型

（12）光室恒温：30°

（13）光室充气：氩气

四、整机技术指标：

• 测量波长范围：

180-500nm    3600L/mm光栅

180-800nm    2400 L/mm光栅

• 测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%
• 测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2
• 检出下限：亚PPb级