氯硅烷中组分分析气相色谱仪
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气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。普瑞GC-9280型气相色谱仪采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
1.气态氯硅烷组分分析的方法原理 气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。本方法采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
2.适用范围 适用于气态氯硅烷组分分析
3.分析依据的标准 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
4.气态氯硅烷组分分析气相色谱描述
4.1. 用途 气态氯硅烷组分分析，如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅。
4.2. 仪器型号 北京普瑞仪器有限公司GC-9280型气相色谱仪
4.3. 系统配置描述 本方案配置了双阀进样口，双液体进样口，两阀四柱，2 个 TCD 检测器等组成。
5. 技术参数
电源 | AC220V±10% 50Hz 2200W | |
工作环境 | 环境温度：5～35℃，相对湿度：≤85％，室内无腐蚀性气体，工作台平稳无振动，周围无强磁场存在 | |
相关配件 | 检测器（根据用户需求搭配） | 氢火焰离子化检测器（FID） 热导池检测器（TCD） 电子捕获检测器（ECD） 火焰光度检测器（FPD） 氮磷检测器(NPD) |
自动进样器（选配） | 岛津AOC-20i HTA公司的HT系列高效气相液体自动进样器 | |
柱温箱 | 炉膛尺寸 | 280×300×180mm |
温度范围 | 室温+5~400℃ | |
温度设定 | 1˚C；程序设定升温速率0.1˚C | |
色谱柱温度稳定性 | 当环境温度变化1˚C时，为0.01˚C | |
程升阶数 | 16阶 | |
程升速率 | 0.1℃-40℃/min（增量0.1℃） | |
氢火焰离子化 检测器（FID） | 操控温度 | 400℃ |
检测限 | ≤5×10-12g/s [n-C16] | |
漂移 | ≤5×10-13A/30min | |
噪音 | ≤2×10-13A | |
动态线性范围 | ≥107 | |
热导池检测器 （TCD） | 操控温度 | 400℃ |
灵敏度 | ≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯] | |
漂移 | ≤100uV/30mi | |
噪音 | ≤20uV | |
动态线性范围 | ≥104 | |