尼康CNC影像测量仪NEXIV VMZ/S4540
产品简介
详细信息
尼康CNC影像测量仪NEXIV VMZ-S4540
产品特点
1. 高产能
「NEXIV VMZ-S」系列在高精度线性光栅尺和精密载物台提供高精度测量的同时，通过载物台移动和图像处理的高速化，与以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品相比，实现了更高的产能。在保证了客户的精度和再现性的同时，缩短了测量时间。
2.高品质图像，高精度测量
通过无失真的高品质图像，即使不在视野中心附近也能得到可靠的测量结果。另外，根据被检测物品的形状通过同轴表面光、底部透射光、8个扇面环形光的选择与光量・照射方向的调整，可以敏锐的捕捉到难以检测的边缘。并且，通过1000点/秒的高速激光扫描，可以取得样品的截面形状，也可以对应高度方向的轮廓评价。满足各种各样零部件的测量需求。
3. 优越的实用性
通过系列产品通用的尺寸测量软件「AutoMeasure」，可以畅快有效地进行尺寸测量。另外，以简单形状为对象，增加了将测量程序制作工序的一部分自动化的功能。
而且，为了满足使用NEXIV系列顾客的要求，用于操控载物台和测量头移动的操纵杆单元，运用了更易操作的设计。
4. 使用「远程控制SDK」实现对「NEXIV」的远程操控
使用远程操控解决方案软件「Remote Control SDK」（另外采购），通过网络可以远程操控最多10台「NEXIV」。可以从远离现场的控制室或办公室等处远程控制「NEXIV」机台，做到统一的测量和数据管理，以达到减少人员配置，提高生产效率的目的。
5.与自动传输系统结合，实现自动传输及自动测量
特别在半导体领域，生产车间无人化、自动化的趋势推动了对尺寸测量的自动化需求。「NEXIV VMZ-S」系列产品通过与本公司制造或其他公司制造的晶圆自动传输系统结合，支持从半导体晶圆的传输到测量的自动化。
主要规格
| | 「NEXIV VMZ-S4540」 | 「NEXIV VMZ-S6555」 |
| 量程（X × Y × Z） | 450 × 400 × 200 mm（TZ型使用低倍物镜时：400 × 400 × 200 mm） | 650 × 550 × 200 mm（TZ型使用低倍物镜时：600 × 550 × 200 mm） |
| 最小读数 | 0.01 μm | |
| 承载重量 | 40 kg（保证精度的载重：20 kg） | 50 kg（保证精度的载重：30 kg） |
| 测量精度 (L为测量 长度(㎜）) | EUX,MPE, EUY,MPE(X轴、Y轴精度) : 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE（XY轴精度）: 2.0+4L/1000μm EUZ,MPE （Z轴精度）: 1.2+5L/1000μm | |
| 相机 | 黑白/彩色1/3英寸CMOS | |
| 变焦镜头型号* （倍率・视场） | ・1型：（0.5～7.5x・ 9.33 x 7～0.622 x 0.467mm） ・2型：（1～15x ・4.67 x 3.5～0.311 x 0.233mm） ・3型：（2～30x ・ 2.33 x 1.75～0.155 x 0.117mm） ・4型：（4～60x ・1.17 x 0.88～0.078 x 0.058mm） ・TZ型 ：（1～120x・4.67 x 3.5～0.039 x 0.029mm） ・A型：（0.35～3.5x・13.3 x 10～1.33 x 1mm） | |
| 自动对焦 | 激光自动对焦（A型是选配）、图像自动对焦 | |
| 照明*1 | ・1～4型: 同轴表面光、底部透射光、8个扇面的环形光 （全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3种角度、4型1种角度） ・TZ型: 同轴表面光、底部光(VMZ-S3020的低倍除外)、暗场照明 ・A型: 同轴表面光、底部光、8个扇面的环形光 （全部采用白色LED光源/1种角度） | |
| 电源规格/额定电流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A | |
| 尺寸*2 (W×D×H/重量) | 本体+底座: 1000 × 1340 × 1818 mm /约510 kg 控制箱:190 × 450 × 450 mm /约12 kg | 本体+底座: 1200 × 1640 × 1818 mm /约740 kg 控制箱:190 × 450 × 450 mm /约12 kg |
| 占地大小（W×D） | 3000 × 3000 mm | 3200 × 3300 mm |