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通用设备真空泵

SKCC-DHHY-X高真空多弧溅射弧源

供应商:
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业类型:
其他

产品简介

SKCC-DHHY-X高真空多弧溅射弧源

详细信息

产品简介:SKCC-DHHY-X高真空多弧溅射弧源适用靶材种类较广,如金属靶材如Ti,Zr配装多弧弧源上,可生成以保证蒸镀的效率和均匀性。

 

产品型号

SKCC-DHHY-X(高真空多弧溅射弧源)

产品规格

SKCC-DHHY-X

X代表靶面直径:φ50~φ100(mm)可选;

主要特点

1引弧安全、可靠;

2工作弧光稳定,镀膜效率高;

3多个弧源共同工作,有利于提高镀膜效率和成膜质量;

4、用我司的弧源配合弧源电源匹配性能更好;

配套电源

多弧弧源电源

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