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微电子研究所KW-5型台式匀胶机/旋涂仪100-200mm

 参数：

手动旋钮控制 

       > 基片尺寸φ100-φ200mm圆片（4英寸~8英寸） 
        > 显示转速稳定度：±1%，胶的均匀性±5% 
        > 转速：500-5000转/分 
        > 匀胶阶段：2段 
        > 匀胶时间：Ⅰ速0~18S,；Ⅱ速0~60S 
        > 电机功率：180W 
        > 整机尺寸（长宽高）：425mmx500mmx300mm 
        > 适应用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料