智能制造网

全自主开发集成电路装备领域产品：

u硅片自动化传输装备（Sorter）：  自主开发、客户定制化 

u设备机械前端（EFEM）：  自主开发、客户定制化 

u机械手（Robot）：  自主开发、大气&真空 

u对准器（Aligner）：  自主开发 

u载盒台（Load Port）：  自主开发 

u核心传感模块（E84/Senor）：  自主开发 

u整机装备控制系统软件（OS）：  自主开发 

u天车系统（OHT）：  自主开发、聚焦8英寸产线

可根据用户使用需求，进行定制化研发制造。

lwanquan自主化的多自由度关节机械手 

l具有zhuanli技术的俯仰片盒承载装置 

l应对wafer翻转需求的特殊手指 

l机械手具有Mapping功能 

l能够应对厚度100 μ m-700 μ m晶圆 

l运动能量平滑技术 

lduyou安全限位技术，保障wafer安全 

lWPH＞250片/小时 

lMTBF（平均wuguzhang时间）≥1300h 

l可读取T7，M1.15