在线式自动真空等离子/进口等离子/摄像头模组/芯片支架/芯片框架
产品简介
详细信息
工作处理流程 ：
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
技术参数
| 电极配置和气体流量 | |
| 保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 | |
| 通过强力排气及消除污染，消除残留物 | |
| 射频发生器 | |
| 频率 | 13.56Hz |
| 输出功率 | １０００W Max |
| 配备自动匹配系统以大限度地减少反射功率 | |
| 真空系统 | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 | |
| 射频发生器互锁 | |
| 室门关闭检测 | |
| 安全玻璃检查观点 | |
| 电磁辐射抑制 | |