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仪器特点

高精密花岗岩架构，高精度，高稳定性

三轴THK精密直线导轨

高精度0.1um分辨率进口开放光栅系统

四轴CNC控制系统，全自动测量

全闭环伺服运动控制系统，速度快、精度高

可聚焦测高，可加装接触式测头和激光测头模组

摇杆/鼠标操作，简单易用

程控5环8区LED冷光源，平行轮廓光源，同轴光源

根据客户工件的具体情况，提供不同的照明组合

全自动高精度变倍镜头

可以按照客户需求提供定制化设计

技术参数