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产品介绍

三轴精密运动台，满足高速定位抖动、高加速、高精度的产品定制需求，适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等*制造行业。

产品特性

XY、Z工作台，直线电机驱动:

亚微米级重复定位精度

速度1000mm/s，加速度2g

超短建立时间，1.5mm步进，建立时间5ms收敛到50nm

X、Y两轴正交性可达3.0arcseco

高精度导轨导向，光栅尺编码反馈

高精度直线导轨:高刚性基台配合进口高刚性直线导轨，可保证产品长期稳定的精度，同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到极点。

本机构具备较高的定位精度，台体的物理形位公差做到了理想化范围，确保运动时的精确性。

模块化线缆管理:模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性，方便用户管理线缆。