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产品介绍

六轴精密运动台，满足高速度、高加速度、高精度的产品定制需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等*制造业。

产品特性

X、Y、01、02、Z1、Z2，直驱电机驱动，保证高速度高加速度和亚微米级精度。

XY直线电机驱动，01、2直驱DD马达驱动，Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸，断电保护。

速度1000mm/s，加速度1g;

速度1000mm/s，加速度1g;

旋转轴重复定位精度1arcsec;

XY正交2arcsec;

高精度光栅尺反馈。

高精度直线导轨:高刚性基台配合进口高刚性直线导轨，可保证产品长期稳定的精度，同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到极点。

本机构具备较高的定位精度，台体的物理形位公差做到了理想化范围，确保运动时的精确性。

模块化线缆管理:模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性，方便用户管理线缆。