Scanning Electron Microscope(SEM)扫描电子显微镜 (SEM)扫描电子显微镜
产品简介
详细信息
的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度，即使是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品进行 TV 速率成像是也不例外；
特点:
● 全面实现纳米或亚纳米分辨性能，从纳米颗粒、粉末、催化剂和纳米器件到块状磁性样品等材料；
● 的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度，即使是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品进行 TV 速率成像是也不例外；
● 无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结合，让用户能够获得至关重要的对比或信号强度；
● 各种各样的荷电缓解策略，包括样品仓压力为 500 Pa 的低真空模式，可实现任何样品的成像；
● 的分析平台提供高电子束电流，而且束斑很小。仓室支持三个 EDS 探测器、共面的 EDS和 EBSD 以及针对分析而优化的低真空系统；
● 样品处理和导航极容易，具有多用途样品支架和 Nav-Cam+
主要技术性能指标：
● 分辨率：高真空：0.7~1.8nm; 低真空: 1.0~1.8nm；
● 加速电压: 100V, 500V, 1KV, 3KV, 15KV, 20KV；
● 电子束电流: 1pA ~ 400nA，冷场发射式；
● 着陆能量范围: 20eV ~ 30KeV；
● 水平视场宽: 10mm工作距离下为3.0mm（对应于最小放大倍率X29）；
● 仓室：内宽340mm，分析工作距离10mm；EDS出射角35°；
● 载物台X-Y范围:110mm * 110mm；
● 重复性：< 3.0μm (0°倾斜时)；
● 电动Z轴：65mm；
● 旋转：n * 360°；
● 样品高度和重量：距共心点85mm， 任意载物台位置均为500g，当0°倾斜时为2Kg；
● 样品尺寸：可沿X-Y轴旋转时直径为122mm；
● 抽气时间: ≤ 3.5 分钟；
● 最多可安装四个探测器，包含EDS探测器（用于化学元素分析）；
● Windows 7 / Windows 10操作系统；
● 图像导航和图像分析软件。
主要应用：
● 芯片等样品高分辨率观测；
● 失效点抓拍记录；
● 芯片内部电路拍照。
● 全面实现纳米或亚纳米分辨性能，从纳米颗粒、粉末、催化剂和纳米器件到块状磁性样品等材料；
● 的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度，即使是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品进行 TV 速率成像是也不例外；
● 无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结合，让用户能够获得至关重要的对比或信号强度；
● 各种各样的荷电缓解策略，包括样品仓压力为 500 Pa 的低真空模式，可实现任何样品的成像；
● 的分析平台提供高电子束电流，而且束斑很小。仓室支持三个 EDS 探测器、共面的 EDS和 EBSD 以及针对分析而优化的低真空系统；
● 样品处理和导航极容易，具有多用途样品支架和 Nav-Cam+
● 分辨率：高真空：0.7~1.8nm; 低真空: 1.0~1.8nm；
● 加速电压: 100V, 500V, 1KV, 3KV, 15KV, 20KV；
● 电子束电流: 1pA ~ 400nA，冷场发射式；
● 着陆能量范围: 20eV ~ 30KeV；
● 水平视场宽: 10mm工作距离下为3.0mm（对应于最小放大倍率X29）；
● 仓室：内宽340mm，分析工作距离10mm；EDS出射角35°；
● 载物台X-Y范围:110mm * 110mm；
● 重复性：< 3.0μm (0°倾斜时)；
● 电动Z轴：65mm；
● 旋转：n * 360°；
● 样品高度和重量：距共心点85mm， 任意载物台位置均为500g，当0°倾斜时为2Kg；
● 样品尺寸：可沿X-Y轴旋转时直径为122mm；
● 抽气时间: ≤ 3.5 分钟；
● 最多可安装四个探测器，包含EDS探测器（用于化学元素分析）；
● Windows 7 / Windows 10操作系统；
● 图像导航和图像分析软件。
● 芯片等样品高分辨率观测；
● 失效点抓拍记录；
● 芯片内部电路拍照。