超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列-智能制造网

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

供应商：: 北京元中锐科集成检测技术有限公司

企业类型：: 其他

产品简介

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。Regulus系列继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm......

详细信息

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察

超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV

*2
Regulus8240/8230/8220