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性能指标

1. 电镜分辨率: 1.5nm @ 15kV；2.0nm @ 10kV；3.0nm @ 5kV
2. 加速电压: 500V～30kV
3. 束流大小: 20nA
4. 电镜物镜模式: 磁浸入模式UHR、无磁场模式HR
5. 电镜检测器: 高真空二次电子检测器(SE)、极靴内二次电子检测器(TLD)、极靴内背散射电子检测器(TLD-B)、四分固体式背散射电子探测器(BSE)、样品室红外CCD探测器
6. 能谱分辨率: 129eV(Mn Kα)
7. 能谱元素检测范围: B5～U92

主要应用

1. 固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成份及线分布、面分布，广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域。
2. 粉末、微粒样品形态的测定 金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析 复合材料界面特性的研究。
3. 材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析 材料及电子器件失效分析 。

样品要求

1. 样品中不得含有铁（Fe）、钴(Co)、镍(Ni)。
2. 样品不得具有磁性，并且不易被磁化。
3. 样品中不得含有水分。
4. 样品高度小于15mm，直径小于30mm。
5. 多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理。
6. 样品应具有导电性。
7. 若样品不导电，需要进行镀金、碳等导电膜的处理（本实验室也提供镀膜服务，但需要另行收费）。 

仪器说明

仪器名称：高分辨场发射扫描电子显微镜 硅漂移探测器能谱仪 Field-emission Scanning Electron Microscopy & Energy Dispersive Spectrometer 仪器型号：Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 仪器缩写：SEM 生产厂家：美国FEI公司& 英国Oxford公司 安装日期：2005年 关键词：扫描电镜 SEM 能谱仪 EDS 微观形貌 表面形貌 元素成分 元素分布 仪器简介： Sirion 200型扫描电子显微镜具有超高分辨率，该仪器能实现对各种固态样品表面形貌的观察，获得表面形貌的二次电子像、背散射电子像。该仪器配备的x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量分析。