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臭氧催化氧化处理设备由催化氧化塔、臭氧发生器，反冲洗装置构成，其中催化塔是主体部分，臭氧气体与废水从底部进入催化氧化塔后，上升经过催化床层，在催化作用下产生大量羟基自由基

臭氧经过过渡金属离子作用下生成强氧化性的·OH，可将废水中的大分子难降解有机物通过断链、开环等方式转化成小分子物质，再进一步矿化为二氧化碳和水，臭氧分解后产生氧气，不会造成二次污染，处理废水达标排放。催化氧化塔经过反冲洗装置的汽、水联合冲洗，将停留在塔内的颗粒污染物冲洗出来，保证催化剂催化效果。