12英寸大面积专用离子减薄仪（MU700）
产品简介
详细信息
关键词：RIE、RIBE、反应离子束刻蚀、CAIEB、化学辅助离子束刻蚀、
过渡金属、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT
型号：MU700S; 产地：欧洲；
应用：过渡金属, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等;
代表性用户：法国科学研究中心（CNRS）、意法半导体（ST）
RFICP源：束径可达 220 mm
采用分子泵或低温泵+干泵组合真空系统
均匀性：+/- 5% on 290 mm衬底
水冷样品台，衬底尺寸可达直径300mm
样品台可以倾斜和旋转
配套SIMS用于刻蚀监控
配置Load Lock
控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用
支持多级用户权限设置和管理
支持设备远程操作、监控、诊断和维护
系统自动报警及定位故障