智能制造网

的解决方案

Leica EM RES102是一款的离子束研磨设备，带有两个鞍形场离子源，离子束能量可调，以获得离子研磨结果。这一款独立的桌面型设备集 TEM，SEM和LM样品制备功能于一体，这与市面上其它设备截然不同。除了高能量离子研磨功能外，徕卡EM RES102还可 用于低能量极温和的离子束研磨过程。

• TEM 样品：
  • 单面或双面离子束研磨适用于材料的离子束减薄过程。鞍形场离子源可获得很大的电子束透明薄区。
  • 程序化控制的离子入射角度变化，适用于完成特殊的样品制备目的，例如FIB样品清洁，以减少无定形非晶层。
• SEM 或 LM 样品：
  • 离子束抛光抛光区域可达25mm。
  • 离子束清洁适用于对样品表面污染层或机械抛光后表面产 生的涂抹层进行清洁。
  • 样品表面衬度增强作用，可替代化学刻蚀作用。
  • 35°斜坡切割用于制备多层样品的截面。
  • 90°斜坡切割用于制备复合结构的半导体样品或组装器件，这种方式所需的机械预加工工作最少。

为了支持多样化的应用需求，Leica EM RES102 可以装配各种样品台以适用于TEM，SEM及LM 样品制备。预抽室系统实现样品快速交换，从而可有效提高样品交换效率 。

带给您的好处

Leica EM RES102 可对样品进行离子束减薄，清洁，截面切割，抛光以及衬度增强，这极大满足了您对应用需求的多样化和便利性。

• 操作简便
  • 19”触摸屏电脑控制单元，监控并记录制样过程
  • 内置应用参数库
  • 程序化制样参数设定，加速初学者学习曲线
  • 帮助文件帮助初学者以及对设备进行维护
• 高效/节约成本
  • TEM，SEM和LM应用功能集于一体
  • TEM样品制备获得的薄区大，有效提高了TEM样品制备效率
  • SEM样品制备可达25mm样品直径
  • 预抽室系统帮助快速交换样品，减少等待时间，并保证了样品室的持续高真空
  • 局域网功能方便远程操控
  • LN2样品台使得温度敏感型样品可在优化条件下进行离子研磨
• 安全
  • 精确的自动终止功能，适用于光学终止或透明样品的法拉第杯终止
  • 在制样过程中可以时时存储活图像或视频
  • 离子源和样品运动马达驱动，程序化控制，因而可获得重复性制样结果

主要功能

对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。

优异性价比

一台设备即可为TEM、SEM、LM电镜检测提供试样，多种应用功能集于一体，高效并节约成本安全；所有机械控制、样品移动实现全自动化，可获得重复性制样结果分段冷却；对温度敏感样品得到充分保护，在优化条件下进行离子研磨，保持样品的原生态操作简便；内置应用参数库，帮助文件，无论是初学者还是后期维护都十分简单。