定制产品 超洁净真空机械手
产品简介
硅片自动化传输装备（Sorter）： 自主开发、客户定制化
设备机械前端（EFEM）： 自主开发、客户定制化
机械手（Robot）： 自主开发、大气&真空
对准器（Aligner）： 自主开发
载盒台（Load Port）： 自主开发
核心传感模块（E84/Senor）： 自主开发
整机装备控制系统软件（OS）： 自主开发
详细信息
芯导精密（北京）设备有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区，是由优秀的留学归国技术人员及教授共同创办的高科技技术型企业。
公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业40年的实际从业经验，能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为晶圆自动装卸载系统以及洁净多轴机械手臂等。
公司自主独立研发的晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本； 自助独立研发洁净多轴机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点，能够满足国际客户需求。
公司在满足微电子行业需求的同时，洁净多轴机械手已开始拓展至医药生产设备及食品生产设备等多行业应用。