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518 系列 — 高精度2D 测量系统
• 带0.1μm/0.4μm 分辨力/ 重复精度的指示精度可达(1.1+0.6L/600)μm。
• 高精度测高仪加入了广泛的测量功能。
• 为了达到的精度，使用高精度反射性线性编码器和高精度导轨。
• 测量可以通过图标命令来执行，同时，也支持一键操作，保证正面的垂直度为5μm ，直线度为4μm。