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手动三次元测量仪：由操作员手工使其三轴运动来实现采点，其结构简单，无电机驱动，价格低廉。
缺点是测量精度在一定程度上受人的操作影响，多用于小尺寸或测量精度不很高的零件检测。

机动型三次元测量仪：与手动型相似，只是运动采点通过电机驱动来实现，这种测量机不能实现编程自动测量。

自动三次元测量仪：也称CNC型，由计算机控制测量机自动采点，通过编程实现零件自动测量，且精度高。

手动型与机动型控制系统：结构简单，操作方便，价格低廉，在车间中应用较广。
这两类坐标测量机的标尺系统通常为光栅，测头一般采用触发式测头。CNC三坐标测量机控制系统：测量进给是计算机控制的。它可以通过程序对测量机各轴的运动进行控制以及对测量机运行状态进行实时监测，从而实现自动测量。另外，它也可以通过操纵杆进行手工测量。CNC型控制系统又可分为集中控制与分布控制两类。

技术参数：