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精密湿度发生器

一、功能描述

本系列产品发生较小流量，温湿度适中、连续可调的含湿气体。

工作流量：0-5L/min (标态)

工作压力：常压；

工作温度：常温-80℃；

湿度范围：5-95%。

二、方案原理

本方案采用分流法发生湿度，即采用湿气和干气混合，得到所需湿度的工作气体。

（1）湿气中水的饱和蒸汽压为 P w

（2）干气、湿气与混合气的总压均为 P aw

（3）干气和湿气的流量比为 χ wd

（4）干气、湿气以及混合气温度相同

则混合后气体的相对湿度

总气流然后通过分流调节阀一分为二：一路经过湿度饱和器，产生高湿度气体；另外一路经过干燥器，产生干燥气体。注意，此处湿度饱和器和干燥器的效果决定了发生器调节湿度的范围。

干气流和湿气流，后经过混合后，产生所需要的含湿气体。