Heimann Sensor真空传感器HVS 系列
产品简介
产品介绍：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。
详细信息
Heimann Sensor真空传感器HVS 系列
产品型号：HVS vac04
关键字：Heimann Sensor真空传感器HVS系列
关键字描述：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。
产品介绍：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1E-5mbar到1E-2mbar的标准测量范围扩展到1E-1mbar。Heimann真空传感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型传感器，基于薄微机械膜上的加热电阻器结构，传感器采用小巧耐用的TO型金属外壳。
参数：
参数 | HVS Vac03g | HVS Vac03k | HVS Vac04 | 单位 |
外壳 | TO8 | TO39 | TO39（单个） TO8（双） |
|
芯片尺寸 | 5.2x5.2 | 4.0x4.0 | 1.2x1.2 | mm2 |
传感器电阻RP（典型值） | 8.5 | 8.5 | 1 | kOhm |
片上参考电阻RK（典型值） | 8.5 | 8.5 | 1 | kOhm |
电源电压U0 (max.)
| 3.5
| 3.2
| 4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） | volt |
工作温度 | -20..120 | °C | ||
储存温度 | -40..120 | °C | ||