ESLP-2系列二维压电平移台
产品简介
详细信息
产品介绍:
ESLP-2系列压电马达二维平台,采用压电马达驱动和整体式结构设计,避免了传统伺服电机或步进电机因结构和驱动方式造成的回程误差。平台采用了光栅及专业的运动控制卡进行全闭环的位置反馈及运动控制,确保了该平台的运动特性及定位精度。
产品特点:
1.直驱方式,无空回误差
2.可在断电状态下长时间保持在同一位置
3.全闭环光栅反馈,重复定位精度优于±0.5um(有0.5um和0.05um分辨率两个系列的标准品)
4.灵活的平台控制程序,可满足多种运动需求
产品选型表:
产品型号 | ESLP50-2 | ESLP100-2 | ESLP150-2 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
大推力(N) | 16 | ||
大速度(mm/s) | 200 | ||
小步长(nm) | 50 | ||
光栅分辨率(um) | 0.5(1um和50nm)光栅可选 | ||
重复定位精度(um) | <±2um | ||
大负载(kg) | 3.5 | 4.5 | 5 |
结构材质 | 铝合金/不锈钢 |
平移台 二维压电平移台 电动平移台武汉红星杨科技有限公司