HGZ-DVAI主动隔振平台
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产品介绍
HGZ-DVAI主动隔振平台由红星杨近推出的一款新型主动隔振平台，由隔振支架和主动隔振系统组成。其中主动隔振系统的精密金属弹簧支架实现被动隔振，洛伦兹电机实现主动隔振。低固有频率可以达到0.7hz，平台提供六自由发言，高精度，待地基反馈的隔振。相比传统主动隔振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，在50HZ频率环境范围内使用能达到良好的隔振效果。
平台在运行过程中不需要使用空压机，安装方便，即插即用。能适应地基调节前馈，实现6自由度减震，具有的减震性能。
技术指标
▇ 6个自由度
▇ 低隔振频率处传递率：<0dB
▇ 作动器推率常数：80N/Apm
▇ 大功率：1Kw
系统减震测试介绍
主动隔振系统由洛伦兹电机，速度传感器以及控制器集成一套完整的闭环伺服控制系统，在0.7-50HZ
内实现主动减震。超过50HZ频率的振动由被动支架金属弹簧隔离。减震台的隔振弹簧在3个平东方向的固
有频率是3-5HZ.由于实施反馈控制，减震台在六个自由度上低隔离频率可达0.7HZ.
下图1为250kg载荷情况下，有LMS测得的垂向传递率曲线。图中红色曲线代表开环传递率，绿色曲线表
示反馈闭环传递率，绿色曲线表示反馈闭环传递率，蓝色曲线表示反馈加前馈闭环传递率。由蓝色曲线可
知，在0.7HZ左右，传递率为0dB。在5-6HZ，传递率为15DB，在10HZ左右，传递率接近-40dB。
洁净室环境：万级以上净化，环境噪声<65dB
测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道 输出模块。LMS Test.lab数据分析系统；
PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经底频扩展）
测试方式：将减震系统置于地基上用手推动工作平台观察洛伦兹电机，确定定子和动子之间无接触并合理调整
气隙间距。开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X,Y,Z方向的振动传递率，由LMS SC
ADASSIII进行数据采集，用LMS Test.lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率。
应用领域：原子力显微镜（AFM),扫描隧道显微镜（STM）,MEMS加工和测量设备，生物基因操作系统，光学实验，
精密计量试验台等。
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