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德国PI （Physik Instrumente）位移台特点

N-765 精密Z向位移台
具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器
 
采用PIOne增量编码器实现直接测量，分辨率为0.5纳米
行程为6.5毫米
可以直接安装在N-565线性定位器上
小位移达1纳米
负载能力达25牛

PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损
PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时，促动器被从动轮处物理提升，几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此，步进驱动器静止状态下将保持位置，关机时可实现机械稳定（无伺服抖动）。静止状态自锁，无能量消耗，无热量产生。

PI提供多种多样的机动化线性平台。应用的多样性也意味着线性轴具有多种技术可能性。行程从数毫米扩展至数米，精度等级从纳米级达微米级：PI使其驱动器、导向或传感器技术适应于不同的应用条件。
 
大量不同的型号可提供真空版本。多轴组合可通过转接支架实现，利用匹配的Z向位移台和转台还可实现更加紧凑的结构。
 
运动控制器可为台式设备、机架版本或紧凑型OEM设备。它们的共同因子是通过通用指令集（GCS）进行指令控制，从而简化控制和编程，且不受驱动器类型的限制。
 
多轴工业应用中带ACS运动控制器的多轴系统可供货。对于精密和以运动为中心的工业应用，其可实现利用现场总线接口进行简易集成。

NEXACT®参考级线性定位器
带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承，可实现高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。

德国PI （Physik Instrumente）位移台特点

带PIOne线性编码器用于直接位置测量
高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以*的精度直接在运动平台上进行实际位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米，信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承
利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

在压电陶瓷步进驱动器（NEXACT®和NEXLINE®）技术领域

应用领域
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。

订购信息：

N-765.060 精密Z向位移台，行程为6.5毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，推/拉力为25牛，尺寸为65 × 110 × 56毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

德国PI （Physik Instrumente）位移台特点