技术中心

广泛应用半导体领域TC wafer 晶圆测温系统

来源:上海智与懋检测仪器设备有限公司
2023/12/7 17:02:34
103
导读:

TC-Wafer  热电偶晶圆测温系统


精度高。采用*的传感器和算法,能够实现高精度的温度测量,误差范围小于0.1摄氏度。第二,可靠性强。系统经过严格的质量控制和长时间稳定性测试,能够长时间稳定运行,保证数据的准确性和可靠性。第三,操作简便。系统界面友好,操作简单,即使是没有经验的人员也能轻松上手使用。第四,适应性强。支持不同尺寸的晶圆和多种材料的测温,具备广泛的适用性。

晶圆33.jpg

TC晶圆测温系统特别适用于半导体生产过程中对温度要求较高的环节。无论是在晶圆的制备过程中,还是在器件和组件的封装过程中,都能提供精确的温度测量数据,帮助生产工艺的优化和效率的提升。同时,它也适用于半导体研发过程中的温度测试,能够提供准确的实验数据,为研究人员的工作提供有力的支持。

无论您是半导体行业的从业者,还是学术研究领域的专家,TC晶圆测温系统的辅助工具。它的高精度、可靠性和适应性,将为您的工作带来便利和准确性


我们的晶圆测温系统专为半导体制造厂FabPVD/CVD部门以及RTP部门等行业设计,可以在高低温晶圆探针台上实现高精度的温度测量,达到mk级别的测量精度。无论是测量晶圆特定区域的温度真实值,还是精准描绘整个晶圆的温度分布情况,我们的系统都能应对得体,并且能够监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化。

我们的产品有以下特点:

1. 高精度测量:采用*的测温技术,可以实现mk级别的测量精度,确保测量结果的准确性。

2. 多区测量:能够测量晶圆特定区域的温度真实值,满足不同区域温度控制的需求。

3. 温度分布描绘:能够精准描绘整个晶圆的温度分布情况,有助于优化工艺流程,提升生产效率。

4. 实时监控:在半导体设备控温过程中,可以实时监控晶圆的温度变化,及时发现异常情况并进行处理。

我们的晶圆测温系统不仅适用于半导体制造厂FabPVD/CVD部门以及RTP部门等行业,也适用于其他需要高精度温度测量的领域。无论您是追求工艺流程的优化,还是在产品研发和制造过程中需要准确的温度控制,我们都能为您提供wanmei的解决方案。





相关技术